液相・気相成長用前駆体

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成膜グレードシラン化合物

成膜グレードシラン化合物は、ゾルーゲル法のための、化学分析および核磁気共鳴（NMR）によって98％以上の純度で、完全に評価されています。

固体酸化物形燃料電池（SOFC）用材料

固体酸化物形燃料電池、特に薄膜固体酸化物形燃料電池について解説します。

窒化ホウ素ナノチューブ

BNナノチューブはCNTに非常によく似たナノチューブであり、CNTの炭素原子が窒素原子とホウ素原子で交互に置換された材料です。

単層カーボンナノチューブ（CoMoCAT法）

CoMoCAT法によって製造された単層カーボンナノチューブ製品の特性評価について解説します。

液相成長用前駆体

酢酸塩、アセチルアセトナート、tert-ブトキシド、イソプロポキシド、フェノキシド、エトキシド、トリ-sec-ブトキシド、メトキシド、2-エチルヘキサノエートなど、55の異なる金属を含む、多様な気相成長用前駆体を提供しています。これら製品は、90%～99.999%のさまざまな純度、溶媒、濃度で販売されています。

気相成長法（CVD、ALD）用前駆体

CVD（chemical vapor deposition）やALD（atomic layer deposition）用の高品質の揮発性有機金属前駆体を提供しています。これら前駆体は、利便性と安全性を考慮して、さまざまな蒸着システムで使用可能なスチールシリンダーにて提供されている製品もあります。

物理気相成長用前駆体

物理気相成長（または物理蒸着、PVD：physical vapor deposition）は、固相原料から高温真空またはガスプラズマ（スパッタリング）によって材料を気化した物質を利用して、基板上で凝縮することにより薄膜を生成させる方法です。PVDは、マイクロエレクトロニクスデバイス、相互接続デバイス、一次･二次電池および燃料電池電極、拡散障壁、光学コーティング、導電コーティングおよび表面修飾などの製造を含む多様な用途に用いられており、高純度のスパッタリングターゲット、ペレット、金属箔、蒸発スラグを提供しています。